vatvalve高壓快速關閉閥25740-QE99 25.7 高真空快速切斷閥受流量控制。沒有任何子系統(tǒng)（傳感器和驅(qū)動器）的直接操作設計可提供高速隔離功能，并且復雜性和故障風險均較低。
瑞士vatvalve角控制閥 62034-KAGX-0001 帶有閉環(huán)控制步進電機的線性驅(qū)動器
62.0 角控制閥可提供非常精確的壓力控制性能。得益于其電動線性驅(qū)動器，該系列閥門能夠以最小流導通過順暢且精細的控制循環(huán)地打開和關閉。集成式軟抽控制功能通過避免與大多數(shù)傳統(tǒng)氣動驅(qū)動器相關的壓力峰值來增強這一點。
vatvalve蝶形控制閥 61328-KAAE-0001 61.3 蝶形控制閥可提供出色的壓力控制性能。憑借其快速且精準的作用動作控制器（0.1 秒），61.3 蝶形控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。
瑞士vatvalve高真空蝶形控制和隔離閥 61632-KEGQ-0001/2063 快速且精準的壓力控制和隔離
