更新時(shí)間：2023-12-12
Renishaw雷尼紹角錐反射鏡干涉儀RLD10-RRIRLD10發(fā)射頭內(nèi)含有干涉鏡組、多通道條紋檢測(cè)系統(tǒng)、激光光閘和內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號(hào)。
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Renishaw雷尼紹角錐反射鏡干涉儀RLD10-RRI
RLD10發(fā)射頭內(nèi)含有干涉鏡組、多通道條紋檢測(cè)系統(tǒng)、激光光閘和內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡。提供0°和90°兩種RLD10發(fā)射頭型號(hào)。
多軸解決方案 — 單軸和雙軸角錐反射鏡系統(tǒng)為多軸應(yīng)用提供理想解決方案。
長(zhǎng)距離和高速度 — 角錐反射鏡干涉儀發(fā)射頭適合具有更長(zhǎng)距離和更高速度的應(yīng)用，此時(shí)平面鏡干涉儀可能不適用。
敏感環(huán)境 — 還提供低功率型號(hào)，適合功耗要求低于標(biāo)準(zhǔn)RLD特定值（即 < 2 W）的應(yīng)用。
| 軸行程 | 0 m至4 m |
| 分辨率（使用RLU配置） | 模擬正交 = λ/2 (316 nm) |
系統(tǒng)非線性誤差* (SDE) *不含接口 | 低于100 mm/s且信號(hào)強(qiáng)度 > 70%時(shí) <±5 nm 2 m/s且信號(hào)強(qiáng)度 > 50%時(shí) <±13 nm |
| 最高速度 | 可達(dá)2 m/s |
對(duì)于長(zhǎng)度超過(guò)4 m的軸，請(qǐng)查看HS20激光尺系統(tǒng)，它支持長(zhǎng)達(dá)60 m的軸。
對(duì)于非真空應(yīng)用，為了維持變動(dòng)環(huán)境條件下的精度，需要某種形式的折射率補(bǔ)償。雷尼紹提供RCU10實(shí)時(shí)正交補(bǔ)償系統(tǒng)，用于對(duì)環(huán)境變化進(jìn)行補(bǔ)償。雷尼紹供應(yīng)的角錐反射鏡可能不適于真空或接近真空的應(yīng)用。
RPI20并行接口集成到RLE系統(tǒng)中，可達(dá)到38.6皮米的分辨率（平面鏡配置）。對(duì)于具有數(shù)字輸出的增強(qiáng)分辨率，雷尼紹的REE系列細(xì)分盒能夠提供0.395 nm的分辨率（平面鏡配置）。
Renishaw雷尼紹角錐反射鏡干涉儀RLD10-RRI
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